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原位薄膜厚度測量儀	MPROBE 50 INSITU

原位薄膜厚度測量儀

<strong>原位薄膜厚度測量儀</strong>-MPROBE 50 INSITU

原位薄膜厚度測量儀用于測量薄膜厚度和 n&k（光學常數）的實時光學測量儀。該系統(tǒng)可以在高環(huán)境光下工作，因為它使用門控數據采集，使用高強度閃光氙燈在寬帶 ( UV-NIR) 波長范圍內進行精確測量。MProbe 50 系統(tǒng)是*可定制的，以支持不同的真空室幾何形狀。根據可用的光學端口，可以使用斜入射或垂直入射。光可以聚焦在樣品表面或準直。反射探頭可以放置在沉積室光學端口的外部或內部（使用光纖饋通）。MProbe 50 系統(tǒng)沒有活動部件。典型測量時間~10ms?？梢钥焖倏煽康販y量任何半透明薄膜。

優(yōu)勢：

1.原位薄膜厚度和 n&k 測量

2.用于高環(huán)境光環(huán)境下測量的門控數據采集

3.材料：500+ 擴展材料數據庫

4.連續(xù)、快速和可靠的測量

5.靈活的配置——*定制以匹配沉積室的幾何形狀

選型列表：

MProbe50	波長范圍	厚度范圍
VIS	400nm -1100nm	15nm – 20 μm
HRVIS	700nm-1000nm	1μm-400μm
NIR	900nm-1700nm	100nm – 200μm
UVVisF	200nm -900nm	1nm – 20μm
UVVISNIR	200nm-1700nm	1nm -200μm
XT	1590nm -1650nm	10μm-1mm

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原位薄膜厚度測量儀

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